توضیحات

Mass Flow Controllers GF100

Mass Flow Controllers GF100 Brooks instrument

GF100 Series Metal Sealed Thermal Mass Flow Controllers

کنترلر فلو جرم یا جریان جرم ( فلومتر بروکس ) Mass Flow Controllers GF100

کنترلرهای جریان جرمی حرارتی sealed  فلزی سری GF100 کمپانی بروکس

برای کنترل واقعی هر فرآیند، باید دقیقاً آنچه را که اتفاق می‌افتد اندازه‌گیری کنید –

 در خط تغذیه feedline، محفظه in the chamber، در هر نقطه – سپس از آن اطلاعات در زمان واقعی استفاده کنید تا فرآیند را دقیقاً در هدف و سازنده نگه دارید.

به عنوان بهترین برند در اندازه گیری و کنترل دقیق مایعات precision fluid measurement and control، تولید کننده دبی جرمی  mass flow meter manufacturer Brooks Instrument همچنان به نوآوری در جریان جرم حرارتی thermal mass flow  و فلومتر کوریولیس Coriolis flow meter و فناوری کنترل ادامه می دهد.

 ما از کاربردهای جدید فناوری دیجیتال برای بهبود سنسورهای جریان جرمی حرارتی thermal mass flow sensors، طراحی‌های دبی‌سنج جرمی mass flow meter designs و عملکرد دقیق کنترل‌کننده جریان جرم mass flow controller  استفاده می‌کنیم.

مزایای دستگاه کنترلر فلو جرم Mass Flow Controllers GF100 :

• پاسخ دهی سریع Fast responding
• سنسور هاستلوی Hastelloy مقاوم در برابر خوردگی که پایداری حسگر درازمدت بی‌نظیری را فراهم می‌کند که حداکثر بازده و توان عملیاتی را تضمین می‌کند.
• Zero Leak-by Control Valve که باعث شیر خاموش می شود (تا 0.005 ≤ از مقیاس کامل) برای به حداقل رساندن اولین اثر ویفر، بهبود تطبیق ابزار و یکنواختی ویفر به ویفر wafer-to-wafer .
• عدم حساسیت گذرا فشار که حساسیت تداخلی را برای تحویل جریان جرمی mass flow ثابت کاهش می دهد و تنوع ویفر به ویفر wafer-to-wafer را کاهش می دهد.
• تحویل سریع و قابل تکرار گازهای فرآیند با سطوح خلوص بالا و فوق العاده بالا
• سری GF100 از کنترل کننده ها و کنتورهای جریان جرمی مهر و موم شده Sealed فلزی می باشد
• سری GF100 که برای نیمه هادی ها، MOCVD و سایر کاربردهای کنترل جریان گاز طراحی شده است
• از استاندارد صنعت نیمه هادی برای قابلیت اطمینان فراتر رفته و عملکرد قابل تکرار و بسیار پایدار را در طول زمان تضمین می کند
• دارای فناوری استاندارد MultiFloTM یک MFC را قادر می‌سازد تا هزاران نوع گاز و ترکیب محدوده را بدون حذف آن از خط گاز یا به خطر انداختن دقت پشتیبانی کند.
• نتیجه: افزایش انعطاف‌پذیری و کارایی فرآیند همراه با بالاترین سطوح خلوص گاز فرآیند در صنعت برای کمک به حداکثر کردن بازده و بهره‌وری
• ماراتن قطعات با کارایی بالا با استانداردهای 7 برابری صنعت نیمه هادی برای قابلیت اطمینان تست شده است
• مسیر جریان تمام فلزی و مقاوم در برابر خوردگی با کاهش مساحت سطح و حجم های جاروب نشده خشک شدن سریعتر در طول مراحل پاکسازی را تضمین می کند.
• با MultiFloTM، گازها و/یا محدوده های فرآیند جدید را می توان در کمتر از 60 ثانیه تنظیم کرد – دیگر نیازی به حذف و کالیبره کردن MFCها نیست.
• پلت فرم بسیار قابل تنظیم، جایگزینی و ارتقاء اکثر مارک های MFC های مهر و موم شده فلزی، از جمله مارک های قبلی Celerity، Mykrolis، Tylan و UNIT را امکان پذیر می کند.
• صفحه نمایش کاربر راحت و پورت تشخیصی/خدماتی مستقل به نصب، نظارت و عیب یابی دستگاه کمک می کند
• GF120 Safe Delivery System (SDS®)پیشرفته ترین کنترل کننده جریان جرمی افت فشار کم بروکس برای تحویل گازهای سیستم تحویل ایمن زیر اتمسفر (SDS) مورد استفاده در فرآیندهای ایمپلنت و اچ است.
• کنترل کننده جریان جرمی با دمای بالا GF120xHT می تواند در محیط های عملیاتی تا 150 درجه سانتی گراد مقاومت کند.

ویژگی های دستگاه کنترلر فلو جرم Mass Flow Controllers GF100 Brooks instrument :

• پایداری صفر طولانی مدت Long-term zero stability <±5٪ مقیاس کامل در سال
• Settling times: 300 میلی ثانیه – <700 میلی ثانیه یا 700 میلی ثانیه – <1 ثانیه
• نرخ جریان flow rates در مقیاس کامل تا 300 slpm
• مسیر جریان آب بندی تمام فلزی: گزینه ای برای Ra surface finish 5µ یا 10µاینچ Ra
• سنسور Hastelloy® T-Rise مقاوم در برابر خوردگی تکرارپذیری اندازه گیری را در دماهای بالا بهبود می بخشد.
• قابلیت برنامه ریزی گاز و برد MultiFloTM – یک دستگاه، هزاران نوع گاز و ترکیب محدوده بدون حذف MFC از خط گاز یا به خطر انداختن دقت
• Optional SDS gas deliveryمدل اختیاری با دمای بالا
• DeviceNetTM، RS-485 L-Protocol و رابط های آنالوگ

کاربرد دستگاه کنترلر فلو جرم Mass Flow Controllers GF100 Brooks instrument :

• ابزار اچ نیمه هادی – Semiconductor etch tools
• سیستم های رسوب بخار شیمیایی لایه نازک (CVD، MOCVD، PECVD، ALD)
• سیستم های رسوب بخار فیزیکی (PVD) Physical vapor deposition
• سیستم های فرآیند همپایی Epitaxial process systems
• فرآیندهای استریپ پیشرفته Advanced strip processes
• دستگاه GC-MS Agilent

مشخصات فیزیکی دستگاه کنترلر فلو جرم Mass Flow Controllers GF100 Brooks instrument :

Differentiator                                     :                       High Purity

Flow Range (Full Scale Capacity)   :                      3 sccm – 55 slm

Surface Finish                                   :                      10µ inch Ra

Accuracy                                            :                      ±1% S.P. > 35-100%

                                                                                   ±0.35% F.S. 2-35%

Repeatability                                      :                      < ±0.15% S.P.

Response Time                                  :                      Normally Closed <1 sec

Response Time                                  :                      Normally open    <1.5 sec

Multi-Gas & Range Configurability   :                     MultiFlo™ Standard

Analog Communication                     :                     0-5 Vdc

Digital Communication                      :                     RS485 L Protocol         DeviceNet™

Metal Sealed, High-Purity/Ultra-High Purity

Thermal Mass Flow Controllers & Meters for Gases

GF100 mass flow controller, 5975C-TAD with serial numbers US1045XXXX and higher, for gas chromatography/mass spectrometry CI flow control modules, used with series 5975, 5977 and 7000, systems 5975A, 5975B, 5975C and 5975C-TAD. This replacement part can only be ordered in connection with a repair by an Agilent certified Enginee

G7000-80030

GF100 Mass Flow Controller L 1594/51

G7000-89030

GF100 Series Metal Sealed Thermal Mass Flow Controllers & Meters brooks

For CH4 – Methane

GF100CXXC

SP2003

GF100c-100589

g7000-89030

UFC-1660 / / UNIT Instruments UFC-1660 Mass Flow Controller MFC 1 SLM CL2 Working Spare / UNIT Instruments

Mass Flow Controller brooks    GF100CXXC

GF100 Mass Flow Controller brooks

For CH4 – Methane

GF100C-853265

SCCM مخفف چیست ؟

SCCM مخفف استاندارد مکعب سانتی متر در دقیقه  Standard Cubic Centimeters per Minute است و یک واحد اندازه گیری است که برای بیان نرخ جریان گاز استفاده می شود.

نشان دهنده حجم گازی (بر حسب سانتی متر مکعب) است که از نقطه خاصی در دقیقه تحت شرایط دما و فشار استاندارد عبور می کند. شرایط استاندارد معمولاً به عنوان 0 درجه سانتیگراد و 1 اتمسفر فشار تعریف می شود.

بنابراین، نرخ جریان SCCM یک معیار استاندارد شده از جریان گاز است که معمولاً در صنایع مختلف، به ویژه در کاربردهایی مانند کروماتوگرافی گازی و طیف‌سنجی جرمی استفاده می‌شود.

SLM مخفف چیست ؟

لیتر استاندارد در دقیقه standard liter per minute  (SLM یا SLPM) واحدی از سرعت جریان جرمی (مولری یا) گاز در شرایط استاندارد برای دما و فشار (STP) است که معمولاً در ایالات متحده انجام می شود، در حالی که رویه اروپایی حول محور است. لیتر معمولی در دقیقه (NLPM).

فلومترها و کنترلرهای جرمی حرارتی Thermal Mass Flow Meters & Controllers

فناوری ثابت شده جریان سنج حرارتی thermal flow meter برای طیف گسترده ای از صنایع و فرآیندهای با تکنولوژی بالا.

فلومترهای جرمی حرارتی مهر و موم شده الاستومری و کنترل‌کننده‌های جریان گاز دقت، قابلیت اطمینان و تکرارپذیری مورد نیاز فرآیندهای پیشرفته شما را ارائه می‌کنند – چه در تولید با فناوری پیشرفته، عملیات‌های زیستی، تحقیق و توسعه آزمایشگاهی یا برنامه‌های تولید در مناطق خطرناک.

 Brooks Instrument به عنوان رهبر جهانی در اندازه‌گیری و کنترل دقیق مایعات، دائماً برای نوآوری و بهبود فناوری دبی جرم‌سنج حرارتی و کنترل‌کننده سرمایه‌گذاری می‌کند.

دبی جرم سنج حرارتی thermal mass flow meter چیست؟

دبی جرم سنج حرارتی به طور دقیق دبی جرمی مستقیم گاز irect mass flow rate of a gas Dرا اندازه گیری می کند.

 این داده‌های حیاتی برای فرآیندهایی است که کنترل دقیق و قابل تکرار مقادیر گاز، صرف‌نظر از تغییرات فرآیند در دما یا فشار، حیاتی است.

دبی جرم سنج حرارتی  thermal mass flow meter چگونه کار می کند؟

اصل اصلی رابطه بین جریان گاز و انتقال حرارت است – بخش “حرارتی” عملکرد سنج جرمی حرارتی.

 این کنتور دارای دو سنسور دما و یک المنت گرمایشی است.

یک سنسور دمای گاز را قبل از گرم شدن اندازه گیری می کند و دیگری بعد از اینکه گاز مقداری گرما را از عنصر گرمایش جذب کرد، دما را اندازه گیری می کند.

همانطور که گاز روی عنصر گرمایش جریان می یابد، مقداری از گرما را جذب می کند. مقدار گرمای جذب شده به سرعت جریان جرمی گاز بستگی دارد: هرچه گاز سریعتر جریان یابد، گرمای بیشتری را منتقل می کند.

 دبی جرم سنج حرارتی تفاوت دما بین دو سنسور را اندازه گیری می کند. این اختلاف دما مستقیماً با سرعت جریان جرمی گاز مرتبط است.

تفاوت بین دبی سنج های حرارتی و کنترل کننده های جریان جرم حرارتی thermal mass flow meters and thermal mass flow controllers چیست؟

در حالی که یک فلومتر جرمی حرارتی سرعت جریان جرمی گازها را دقیقاً اندازه گیری می کند، نمی تواند به طور فعال جریان را کنترل یا تنظیم کند، زیرا کنتور فاقد شیر کنترل است.

با این حال، یک کنترل کننده جریان جرم حرارتی به طور فعال جریان را برای حفظ نقطه تنظیم مورد نظر کنترل یا تنظیم می کند.

کنترل کننده جریان جرمی اندازه گیری نرخ جریان گاز و سیگنال خروجی را به شیر کنترل ارائه می دهد که جریان را برای رسیدن به نرخ مورد نظر تنظیم می کند.

اندازه گیری جریان جرم حرارتی و کنترل جریان جرم حرارتی Thermal mass flow measurement and thermal mass flow control  دو عنصر مدیریت زمان واقعی گازهای فرآیند process gasses هستند.

 اندازه‌گیری و کنترل دقیق، دقیق، تکرارپذیر برای حفظ حجم بالا و سیستم‌های فرآیند صنعتی با ارزش، مانند بیورآکتورهای علوم زیستی، کارخانه‌های آزمایشی شیمیایی و پتروشیمی و سیستم‌های رسوب بخار فیلم نازک، که در اوج بهره‌وری کار می‌کنند، کاملاً حیاتی است.

چه چیزی فناوری جریان حرارتی بروکس را متمایز می کند؟

فلومترهای جرمی حرارتی مهر و موم شده الاستومری و کنترل کننده های جریان گاز ما دقت، قابلیت اطمینان و تکرارپذیری مورد نیاز فرآیندهای صنعتی شما را ارائه می دهند.

 به عنوان رهبر جهانی در اندازه گیری و کنترل دقیق سیالات، سازنده جریان سنج حرارتی Brooks Instrument دائماً برای نوآوری و بهبود فناوری دبی جرمی حرارتی و کنترل کننده سرمایه گذاری می کند.

خانواده گسترده از دبی‌سنج‌های جرمی حرارتی مهر و موم شده با الاستومر و کنترل‌کننده‌های جریان گاز از ابزار دقیق و قابل اعتمادی تشکیل شده‌اند که عملکرد دقیق و پایداری طولانی‌مدت را ارائه می‌کنند.

 نتیجه: شما ارزش و بازگشت سرمایه مورد نیاز عملیات خود را به حداکثر خواهید رساند.

کنترل‌کننده‌های جریان جرمی مهر و موم شده با الاستومری elastomer sealed mass flow controllers (MFCsو فلومترهای حرارتی ما از ویژگی‌های زیر برخوردار هستند:

وسیع ترین محدوده جریان و فشار حرارتی

پایداری رانش بلندمدت برتر که ارزش پایدار را ارائه می دهد

دبی سنج جرمی حرارتی و کنترل کننده های مهندسی و تایید شده برای مناطق خطرناک

گزینه های محفظه شلنگ پایین/شستشو برای کنتورها و کنترل کننده های گاز حرارتی

کاربردهای جریان سنج جرم حرارتی

Brooks Instrument با تولیدکنندگان پیشرو نیمه هادی، صنعتی و سایر تولیدکنندگان با فناوری پیشرفته همکاری نزدیکی دارد تا نحوه ارائه نتایج دقیق، دقیق و قابل تکرار را چگونه متر جرم حرارتی و فناوری کنترل ما ارائه دهد.

تجزیه و تحلیل شیمیایی و پتروشیمی و فرآیندهای آزمایشی: کارخانه های آزمایشی خطرات فنی و تجاری را کاهش می دهند و داده های ارزشمندی در مورد واکنش ها، خواص مواد، بازده فرآیند و موارد دیگر ارائه می دهند.

 در یک نیروگاه آزمایشی، دبی‌سنج‌های جرمی حرارتی ما نرخ جریان گاز و فشار ورودی به راکتور و جریان خروجی را کنترل می‌کنند و داده‌های حیاتی و جهت را در مورد چگونگی ادامه ارائه می‌دهند.

بیوراکتورهای علوم زیستی: دبی‌سنج‌های جرمی حرارتی مهر و موم شده با الاستومر و کنترل‌کننده‌های جریان گاز ما شامل MFC‌های بیوتکنولوژی سری SLA هستند که به‌طور خاص برای کاربردهای پردازش زیستی مهندسی شده‌اند.

رسوب بخار لایه نازک: اندازه گیری و کنترل جریان حرارتی پایدار و قابل اعتماد یک عنصر حیاتی در بهینه سازی سیستم های رسوب بخار لایه نازک است. کشف کنید که چگونه کنترل کننده های جریان جرمی گاز سری SLA مقدار یکنواخت و دقیق گازهای فرآیند را به این سیستم ها تحویل می دهند تا بهره وری و کیفیت سیستم را به حداکثر برسانند.

سیستم های آزمایشگاهی و تحلیلی

عملیات حرارتی، برش و سایر فرآیندهای حرارتی

برنامه های کاربردی خلاء

محصولات جریان حرارتی

Mass Flow Controllers GF100

Mass Flow Controllers GF100 Brooks instrument

GF100 Series Metal Sealed Thermal Mass Flow Controllers

کنترلر فلو جرم یا جریان جرم ( فلومتر بروکس ) Mass Flow Controllers GF100

کنترلرهای جریان جرمی حرارتی sealed  فلزی سری GF100 کمپانی بروکس

فلومتر بروکس, فلومتر بروکس مدل GF100,فلو کنترلر بروکس brooks,فلومتر کنترل جرمی جریان, فلوکنترلر بروکس, فلومتر جرمی بروکز brooks,